萬濠光柵尺與同行產品對比

萬濠光柵尺

同行光柵尺

平行

好3°

差15°

光斑均勻度

好

差；不一致性

可達到分辨力

高：柵距20μｍ可達到0.5μｍ

低：柵距20μｍ可達到1μｍ，長時間工作不穩(wěn)定

長時間工作光強衰減對精度、速度、穩(wěn)定度影響

整理衰減：幾乎不影響性能

大：衰減不一致對性能影響大

后期維修成本

低

高：一年之后特別明顯

集成接收模塊

4對分離接收模塊

接收面積

大

小

信號穩(wěn)定度

好

差

抗污染能力

強

一般

響應速度

快

一般

信號抗干擾性

強

一般

長時期工作信號衰減

衰減一致

差異性大

保外維修率

低

高